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光刻機是干什么用的，工作原理是什么?

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2015-01-25 |

一般來說是用激光。比如說要在玻璃上刻蝕圖形，大致步驟為:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑(即光刻膠有正性和負性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多，如激光直寫、通過掩模板同時曝光等)、去膠(光刻膠曝光后性質(zhì)發(fā)生光化學(xué)變化，去膠的方法也很多，如放在刻蝕劑中，用正性膠的話，被光照到的地方就會被溶解，沒有光照到的地方光刻膠保留下來，到這里就已經(jīng)在光刻膠上刻蝕出了所需圖形)、清洗、轉(zhuǎn)移(方法更多，如離子束轟擊，光刻膠和玻璃同時被轟擊，光刻膠被轟擊完后，暴露出來的玻璃也被轟擊，就把光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到玻璃上)。實際上，光刻的方法和具體步驟相當復(fù)雜，對環(huán)境要求也非常高，以上只是基本步驟，讓你大致了解而已。