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國內首套光刻機生產線成功投產

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2015-03-01 |

中新江蘇網徐州2月2日電(仲欣)目前，由國內某公司研發的國內首臺具有世界領先水平、擁有自主知識產權的雙工件臺光刻機生產線目前已成功投產，該生產線填補了國內空白。

　　據了解，隨著集成電路的發展，高端芯片應用領域已延伸至手機、電腦、數控設備等各個行業，其封裝技術更是向高密度、更高性能發展，因此能夠生產高端芯片的大視場、大焦深、高精度光刻機成為先進封裝生產線上的關鍵設備。長期以來，光刻機的生產技術一直被以色列的奧寶科技、日本的ORC、富士、網屏和日立等五家國際企業壟斷，國內光刻設備完全依賴進口。