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分子泵機組的特點及用途

來源：網絡 | 發布時間：2024-01-16 |

    分子泵機組是一種集分子泵和前級泵于一體的設備，這種組合使得分子泵的優點得到了最大的發揮。其主要特點是在很寬的壓力范圍內（10-6至大氣）工作，大大提高了泵的出口壓力。
    分子泵利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走。這種泵有兩種主要類型：牽引分子泵和渦輪分子泵。牽引分子泵中，氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。渦輪分子泵則靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣，這種泵通常在分子流狀態下工作。
    另外，分子泵機組有三種常見的類型：油潤滑分子泵、脂潤滑分子泵和全磁懸浮分子泵。其中，油潤滑分子泵和脂潤滑分子泵需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。
    分子泵機組在許多領域都有廣泛的應用，如分析質譜分析、電子顯微鏡、半導體電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等。同時，也常用于光學/玻璃行業（例如熱保護，增透、反射、光學濾光膜）、鍍膜行業（例如表面保護，裝飾涂料，顯示器，屏幕）以及真空冶金行業（例如真空爐、真空釬焊、真空燒結、真空合金等）。此外，它也常常用在泄漏檢測領域（例如真空系統、車輛的油箱，安全氣囊等）。